行业运用
易碎晶圆经常需要重新定位。当从一个生产工艺过渡到下一个生产工艺时,晶圆要从机械设备上卸载并进给到下一个机器加工步骤。
为使产量最大化,必须在保证可靠性和精度的同时达到最快速度。
接触晶圆时必须尽可能轻柔以避免“压到”它们。
晶圆的感光表面必须无任何残留才能充分利用光线。在重新定位过程中增加固定监测系统,不影响生产能力。
荣获奖项的高速 H 型门架为此项任务提供最理想的解决方案:
专门为抓取太阳能电池和晶圆而设计,占用一个长方形区域,具有4 个自由度。对伯努利式吸盘进行调整以适用于易碎晶圆的传输,实现非接触式轻柔传输。集成紧凑型智能视觉系统以检查晶圆是否损坏及排列是否正确。
轻柔可靠抓取
应用场合:生产过程中,在不同的生产步骤需要稳定可靠抓取和运输晶圆。这对速度的要求高,要让太阳能电池模块的生产本尽可能低。同时还需要轻柔的加工,以保证晶圆一定不会破裂。
挑战:晶圆生产工艺进步越大,晶圆就变得越精细,也更脆弱。因此,对于抓取工件而言,必须在正确的时刻采用正确的抓取技术,以及减少机器的投资和能源成本。
晶圆表面的印记会降低太阳能电池成品的性能。这些印记是由于抓取过后晶圆表面有所残留所造成的。伯努利式真空吸盘抓取晶圆时几乎不发生接触,能可靠定位。与标准型真空吸盘相比,伯努利式真空吸盘利用纯净的压缩空气,通过狭窄的环形间隙将空气强行排出,从而形成吸力,吸附晶圆,在轻柔提升的同时保持平稳且不会在晶圆上有任何残留。根据不同的要求,插件的材料可以选择不锈钢、聚合物、PEEK 或铝,为抓取精密的太阳能电池提供了一个高端的解决方案。
真空吸盘插件OASI 可保护精密工件避免发生变形和断裂。与相匹配的真空吸盘可组合成完整的解决方案,用于可靠地抓取和检验晶圆。这种经济型解决方案特别适用于未加工晶圆的搬运,例如用于太阳能电池生产线起始处的装料站。
防止阀受到污染
投资少,能源成本低
多层太阳能模块和平板显示器的生产过程中会产生热量,因此有必要集成冷却系统。然而所需要面临的挑战便是:能否可靠地对冷却介质的流量、压力和温度进行监控。例如,在真空涂层处理过程中,真空泵、真空发生器以及处理腔本身都需要冷却。
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